关于精密测量
求助,有两个相同的薄片,间隔约1米,同一水平高度,互相平行,每个薄片上有多条细缝,细缝宽度约30μm,相邻细缝间隔约1mm。现在需要检测这两个薄片上细缝的重合度,(检查两个薄片上的细缝是否对齐)。请问哪里能够做这种检测,或者需要什么设备?一定要用到光的干涉原理。 三坐标? 不知道你考虑过CCD没有? 精密测量的事情还是去找计量局的问问 两个相同有多条细缝的薄片,间隔约1米,要检测这两个薄片上细缝的重合度。
可用的方式不是很多,如楼上说的三坐标或光的干涉原理,至于CCD则是外行人的选择。
比较简便是用经纬仪,机械行业或用激光校准仪。 激光准直仪 LIAOYAO 发表于 2015-5-17 18:53 static/image/common/back.gif
两个相同有多条细缝的薄片,间隔约1米,要检测这两个薄片上细缝的重合度。
可用的方式不是很多,如楼上说的 ...
光栅尺
肯定是光学方法搞定了 fmdd 发表于 2015-5-17 22:48 static/image/common/back.gif
激光准直仪
激光准直仪的激光束至少有1mm吧,精度能满足要求吗?