459827194 发表于 2021-7-12 16:06:46

SMC有MQR1   回转接头转速3000转能满足，可以去咨询下

Godzera711 发表于 2021-7-12 20:39:35

朱威威 发表于 2021-7-12 16:02
电机轴和真空吸盘之间加旋转接头？你先确定这个接头加在哪里吧，图2和图5白色的是真空托盘，金属色的是定位 ...

那这个真空吸附是怎么实现的？您知道吗？小旋转台与电机轴之间是还有一个轴承吗？中间那结构我还没看明白。

Godzera711 发表于 2021-7-12 21:06:54

朱威威 发表于 2021-7-12 16:02
电机轴和真空吸盘之间加旋转接头？你先确定这个接头加在哪里吧，图2和图5白色的是真空托盘，金属色的是定位 ...

第一个视频里的带O型圈的托盘，您知道它的具体结构嘛或者是相关的厂家，还有这个O型圈是为了密封吗？

重诚WBL 发表于 2021-7-12 21:17:57

硅片哪个阶段用这么快的转速？插片和清洗用不上吧

Godzera711 发表于 2021-7-12 21:27:57

重诚WBL 发表于 2021-7-12 21:17
硅片哪个阶段用这么快的转速？插片和清洗用不上吧

湿法刻蚀清洗之后甩干

重诚WBL 发表于 2021-7-12 21:32:39

Godzera711 发表于 2021-7-12 21:27
湿法刻蚀清洗之后甩干

在制绒阶段？我们这里就到清洗和插片哈哈

远祥 发表于 2021-7-13 22:43:01

这个很相似电气滑环的配件了！

ROTOFLUXCHINA 发表于 2021-7-14 11:04:00

我这里有真空吸附用的高速旋转接头，最大6000转，电话 13811782875，微信同

林晖LINHUI 发表于 2021-8-30 17:49:10

我可以帮助你解决这个旋转接头的问题，可以非标定制，旋转接头在气体和真空方面非常有优势，公司：营口林晖密封技术有限公司，技术交流服务热线：15041784127（微信同步）

ahway 发表于 2021-11-19 18:16:33

旋转接头（通气）电子行业中常见，比如SMD测试设备中间的那个就是：

SMC、Festo等品牌都有类似的高速旋转接头（过正压、负压均可）：




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