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发表于 2008-11-7 18:58:39
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数显卡尺的原理
. F9 }6 S1 L8 q5 V# x1 O, }; w/ U一、容栅测长概述 0 `" t2 P+ z7 [6 E7 v
容栅式测长的主要(核心)部分是容栅传感器,容栅传感器是国外70~80 年代研制出的一种新颖、大位移传感器, 当安装在不同的设备上时可以构成不同的测长仪器。现已成功地在量具(如电子数显卡尺、千分尺)、量仪(如高度仪、坐标仪)和机床数显装置(如机床行程测量)等方面得到应用。
+ H1 ?0 d' u" O$ c主要特点:测量精度高,达5mm,量程大,达1m。 . r+ z3 t! q Q7 f$ w$ Y9 g( J7 b$ Y
二、容栅传感器定义 ' K. u5 J1 Y* g+ O% f
容栅传感器是一大类变面积原理的电容传感器,它的电极不止一对,电极排列呈梳状,故称为容栅传感器。具有 三大优点: ; q$ q0 w) z4 ]- ?
1、为同组中有多个电极或多个电极并联,极大地提高了灵敏度;
- s) W5 E( W# ^' q2 Q2、一个大极距内有多个发射电极,可细分,实现小位移测量;在定尺上有多个大电极,可计数,实现大位移测量;
2 t1 e; N6 B. n3、由于增加了反射电极,通过它的电容耦合和电荷传递作用,使得传感器的活动部分(动尺)与测量线路之间没有活动的引线。
. R8 y/ r: q6 w3 x+ `- n三、容栅传感器的基本类型及工作原理
J- B9 I1 b& V# r; B! a( O容栅传感器可实现直线位移和角位移的测量,根据结构形式,容栅传感器可分为三类:
6 W6 Q3 V6 K" a, c8 p8 g" Y1.直线形容栅传感器(长容栅) 8 m0 X) l2 @- r, i
整个传感器由两组条状电极群相对放置组成,一组为动栅,另一组为定栅;动栅和定栅通过静电耦合来实现其 位移的测量。
6 H& L3 J" u( O" q9 F2 D+ r/ A2.圆形容栅传感器(片状圆容栅) ' I$ f6 x" r$ U/ @
在圆盘形绝缘材料基底上镀了多个辐射状电极群,两同轴圆盘上的电极群相对应,其电容耦合情况就反映了两 圆盘相对旋转的角度。 3 E1 U2 `/ a1 Z! B: |9 s
3.筒形容栅传感器(柱状圆容栅) . R7 d) i# g. G3 d6 ~/ \; O. R: s
有两个套在一起的同轴圆筒组成,电极镀在圆筒上,可实现长度的测量。长容栅的结构原理如图1 所示。 ' S3 I7 C1 j* i2 W& k4 q& a7 n
图1 中,1 为定尺,2 为动尺,在它们的A 、B 面上分别印制(镀或刻划)一系列相同尺寸均匀分布并互相绝缘的金 属栅状极片。将动尺和定尺的栅极面相对放置,其间留有间隙,形成一对对电容,这些电容并联联接,根据电场理论并忽略边缘效应,其最大电容量为:
+ S% b7 @$ {2 d1 \- \. J1 e式中 n——动尺栅极片数 a,b——栅极片长度和宽度; 8 M" \" F( S% J0 W# Q6 d" V: ?- a
最小电容量理论上为零,实际上为固定电容C0,为容栅固有电容。当动尺沿x 方向平行于定尺不断移动时,每对电容 的相对遮盖长度a 将由大到小,由小到大地周期性变化,电容量值也随之相应周期变化,如图2 所示,经电路处理后, 则可测得线位移值。
' p$ B9 B3 @6 {1 L9 v! T8 b圆容栅传感器的结构原理图如图3 所示。
7 z/ ~& q `; s3 l( T图3 为片状圆容栅,它由同轴安装的固定圆盘1 和可动圆盘2 组成,A、B 面上的栅极片呈辐射的扇形,尺寸相同均 布并互相绝缘。工作原理与长容栅相同,最大电容为: ( N6 N; W' p( O2 r/ c: D
式中 r1,r2 ——圆盘上栅极片外半径和内半径; 1 F. y: p/ I5 K& \% o
α——每条栅极片对应的圆心角。
5 F6 d3 P$ P7 y0 x$ F; b; W9 v柱状圆容栅的结构示意如图4 所示
3 I0 }$ Z$ B0 R2 V图4 柱状圆容栅的结构原理图
; o! c0 n( c0 W) j7 P+ ]; t/ t4 I柱状圆容栅是由同轴安装的定子(圆套)1 和转子(圆柱)2 组成,在他们的内、外柱面上刻制一系列宽度相等的齿 和槽,当转子旋转时就形成了一个可变电容器:定子、转子齿面相对时电容量最大,错开时电容量最小。 8 F9 \" L6 d( M. P) [' Q& u/ F
四、容栅传感器的测量电路
/ y3 H3 i# X% F* ], X2 w' z容栅传感器的测量电路形式有多种,根据信号处理方式通常可分为调幅式和调相式测量电路[1]。
# u9 A+ } ]6 _参考资料: [1] 强锡富主编,《传感器》,机械工业出版社,1996
. N7 ]+ l4 p" D$ V6 L* }五、容栅传感器与光栅、磁栅和感应同步器的关系
$ ~! |, u1 d- I& W3 ?$ }, L- o r容栅传感器与光栅、磁栅和感应同步器等同属于大位移测量传感器。这些装置各有所长,但成本较高,结构复 杂,对使用环境和安装条件要求高,特别是各部分间的连线困难,易受干扰,难以普及使用和实现在现有机床设备改 造中的应用。容栅式测量系统具有重复性好,精度高,抗干扰能力强,对环境要求不苛刻,实现数字化等优点;而且 相对光栅测量系统而言,它具有结构简单、造价低、体积小、耗能少、安装使用方便、环境适应性强、分辨率高、动 态范围宽等优越性,因此广泛应用于国内外相关领域。特别是其位移传感器的可动部分不需通电,从根本上解决了连线困难的问题。因而适用于多种机械设备的位移量数字化自动显示。
2 w6 g7 {+ C) _$ N1 b六、容栅式数显卡尺生产厂家 $ z* W- i: [0 ?! {; s
青海量具刃具有限责任公司http://www.qlr.com.cn " P# j1 {' z1 M
青海量具刃具有限责任公司创建于1955 年,是中国最早生产千分尺的厂家。该公司已成长为中国量具行业规模最大的千分尺生产厂家。在中国,该公司生产的千分尺品种、规格最为齐全。 2 ^8 s2 ~+ n+ m( @# w
桂林广陆数字测控股份有限公司http://www.guanglu.com.cn
. y6 K* A5 q0 Z2 [+ ?该公司下辖无锡广陆仪表有限公司、上海广陆测控技术开发有限公司和上海广陆量具有限公司。公司主要生产四 大类产品:电子数显卡尺系列产品(通用和专用);电子数显千分尺系列产品;电子数显指示表系列产品以及其它智能 化、数字化精密仪器仪表系列产品。生产规模已达100 万套,80%以上的产品出口到欧美等三十多个国家和地区。 + T5 H, g+ ~$ G9 q( a( Y0 X
上海量具刃具厂http://www.smctw.com.cn 8 X3 K8 Q9 P6 R: I
上海量具刃具厂是国内生产量具、量仪和刃具产品的老企业。生产的游标卡尺、千分尺、电子数显量具、圆度仪、齿轮量仪和锯片铣刀、立铣刀畅销国内外。 , }& d; S* M% X/ P- c
哈尔滨量具刃具集团有限责任公司http://www.harbin-links.com.cn
- n# g3 e( I2 u. L _( T/ h! j1 N哈尔滨量具刃具集团有限责任公司(原哈尔滨量具刃具厂)是中国最大的精密工量具制造企业之一。通过 ISO9001:2000 质量体系认证。主要产品有:标准刃具、通用量具、数控刀具及工具系统、精密测量仪器、六足并联数控机床等,是全国同行业中产品品种最多、规格最全的工量具制造企业。 |
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