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《超高真空技术》PDF

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发表于 2008-6-15 11:25:45 | 显示全部楼层 |阅读模式
超高真空技术
6 _6 f$ G' d8 m% Y作者:邱爱叶,邵健中编著( q' s  K8 C' D4 s9 L9 z
出版项:浙江大学出版社 / 1991.8
- c( I' m7 K5 Q# f* K$ Q( O/ Y- {% N原书定价:¥2.65
3 A/ q- w- N9 x" r* x* c无装帧项:20cm / 241页' k$ j2 P' y6 i, r5 s
ISBN号:73080074** / TB751, y- s# D) r/ k
( P' ~( m! O1 K" Q6 T* M
[ 本帖最后由 la999 于 2008-6-15 11:27 编辑 ]

超高真空技术.pdf

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发表于 2024-3-5 10:53:18 | 显示全部楼层
好资料,感谢la999
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发表于 2024-4-17 13:32:48 | 显示全部楼层
1.对检漏方法的一般要求
. ?/ a/ p* B- x( g0 H9 u+ F- {(1)检漏灵敏度高,可以检出很小的漏孔;
6 u! c# E: X; s(2)反应时间短,可以提高工作效率;
+ A3 v: l, }1 u& n" P) P(3)能定位、定量,即不仅能够找出漏孔的位置,还能确定漏率的大小,以便确定是否合乎质量要求;
* ?. m; P$ Z9 h/ X8 L, ?8 W  g; h(4)能无损检漏,不使被检设备受到损坏和污染;: _6 G* }7 ?% F, L+ V% `
(5)稳定性好,即保证足够长时间内灵敏度稳定可靠;
% q" y, U- ~4 J+ M* X(6)所用“示漏气体”在空气中含量低、无毒、不腐蚀零件;
0 Z; x  Z' s  Y7 h1 M  R) T(7)检漏范围大,从大漏孔到小漏孔都能检测,以减少检漏设备的数量和费用;- V: @* l. \( j" n* i$ z
(8)检漏时应洁净无油,满足一些特殊要求。
( G; b' B2 ~3 L5 O$ B% ^+ r8 f$ r2.选择检漏方法的原则& V+ v% y- i  ]2 _
(1)主要根据被检漏设备的允许漏率为依据,由于一个设备的允许漏率是很多漏孔漏率的综合,为找到一个单个漏孔,所选择的检漏方法的检漏灵敏度就要高于允许漏率1~2个数量级。如一个设备的允许漏率为10-11W,而必须选用的检漏灵敏度为10-12~10-13W;( u: \7 ^5 h8 R  f/ _' [. U6 m
(2)根据具体被检对象,所用方法简便易行、经济实用。
0 \2 C& S5 C, y/ T3.检漏方法的分类2 y8 L- s! L, T+ \3 I9 |  g
按被检容器所处的状态可分为两大类,即加压检漏法和真空检漏法。
4 [0 z8 G7 H7 J" u; W(1)加压检漏法。在被检容器内充入一定压力的气体(称试验气体或者探漏气体)或液体,当容器上存在漏孔时,气体(或液体)便从漏孔中逸出,从哪里逸出,逸出量的多少等,就可判断有无漏孔存在、漏孔位置和大小。属于此类检漏方法有:( J! p& f; N0 W- U$ [' P, i
水压法:将清洁的水压入被检容器中,一般水压在2~3个大气压左右,观察容器外壁有无水珠出现,根据水珠出现的位置大小和快慢,来确定漏孔位置和估计漏气量的大小。
) e+ D$ |3 [& d/ K气压法:将试验气体(空气或其他气体)压入被检容器,在外面检查有无气体逸出,具体方法有:火焰、气泡指示法(水槽法、皂膜法);氨检漏法;卤素检漏仪和氨质谱仪吸嘴法和放射性同位素法。其中卤素检漏法是,金属铂在高温(常用850~950℃)下产生正离子发射(主要是碱金属离子),这种发射遇到卤素气体时急剧增加,依据这个现象可以制成一种检漏仪器,即卤素检漏仪。! j7 J: ~* k$ V: B4 I$ }5 Q
铂的离子发射现象被设置在一个探头中,探头是一支二极电子管结构,加热丝、阳极及不锈钢阴极组成一间热式二极管,后部安装吸气风扇,使用时不断吸进气体,工作时二极管的阳极由灯丝加热到850~950℃,阴极对阳极加有250V负电压并收集正离子,离子电流由电子电路放大后,用仪表指示,考虑到检漏时无暇观察仪表指示6 g, f2 @, ?: I* X& E; t# P/ |
示漏气体多用氯的卤化物,如氟利昂、氯仿、四氯化碳等,其中以氟利昂无毒、不可燃、蒸汽压力高、灵敏度高被广泛应用。检漏时,卤素气体充于被检件内,用外探头在外部) d+ s3 s* [# ]# E" v' Y) b5 a) N
寻找漏孔。这种方法可检出10-9 Pa·m3/s的漏孔,工业产品一般为10-6~10-7Pa·m3/s。
% p- Z' h+ H5 T. ~! b(2)真空检漏法。将被检容器内部抽空后,再把试验物质施于容器外表可疑位置。如有漏孔,试验物质便通过漏孔
9 x8 ~8 |+ z3 t( |& `2 ]: L  g- e+ d9 P进入容器,通过一些方法或仪器指示出来,从而可判断出漏孔的位置和大小。属于此类的方法有:静态升压法;放电管法;真空计法;氢-钯法;离子泵法;高频火花检漏法;卤素检漏法;质谱检漏法。其中离子泵检漏法是,溅射离子泵的离子流大小可反映真空系统真空度的高低,因此,类似于电离真空计的方法,用离子泵的电流指示可对系统或被抽容器进行检漏。这也是一种既简单又灵敏的检漏方法。
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