超精密加工

camvinh · 发表于 2017-10-10 09:43:00

本帖最后由 camvinh 于 2017-10-10 09:44 编辑

我们研究室做超精密加工研究，机床加工精度达到1μm以下，表面粗糙度5-10nm，一刀就出镜面。有兴趣的朋友，可以交流交流。

qq707459754 · 发表于 2017-10-10 09:53:38

清华？牛掰

leyfa7@126.com · 发表于 2017-10-10 10:01:07

用的什么刀具？
粗糙度和精度可以代替磨削吗？
最长试验工件是多少？

camvinh · 发表于 2017-10-10 10:02:54

leyfa7@126.com 发表于 2017-10-10 10:01$ a& _, n! ]* Y9 o5 ~
用的什么刀具？
7 \5 u% p9 r8 M( y3 J+ S粗糙度和精度可以代替磨削吗？
0 P9 ?0 @1 i& \& ]! g& ^8 ]最长试验工件是多少？

用天然金刚石刀具，粗糙度能达到5-10nm，精度<1μm

喀秋莎88 · 发表于 2017-10-10 10:04:46

大理石床身，看起来高端啊。

camvinh · 发表于 2017-10-10 10:04:59

leyfa7@126.com 发表于 2017-10-10 10:014 o4 m4 ?. r1 a
用的什么刀具？. d2 b) |& I/ S6 k4 ?
粗糙度和精度可以代替磨削吗？
- Q/ ~8 Q! ~1 ?最长试验工件是多少？

最长150mm

喀秋莎88 · 发表于 2017-10-10 10:08:08

千岛2000转手动卡盘？

camvinh · 发表于 2017-10-10 10:12:51

喀秋莎88 发表于 2017-10-10 10:08
+ E; C7 R9 \# `0 U0 H0 [千岛2000转手动卡盘？

是的

﹏ˋ仰望 · 发表于 2017-10-10 10:14:33

看着很牛啊

dengxiangxi · 发表于 2017-10-10 10:15:54

超精密切削加工
主要有超精密车削、镜面磨削和研磨等。在超精密车床上用经过精细研磨的单晶金刚石车刀进行微量车削,切削厚度仅1微米左右，常用于加工有色金属材料的球面、非球面和平面的反射镜等高精度、表面高度光洁的零件。例如加工核聚变装置用的直径为800毫米的非球面反射镜，最高精度可达0.1微米，表面粗糙度为Rz0.05微米。
超精密特种加工
加工精度以纳米，甚至最终以原子单位(原子晶格距离为0.1～0.2纳米)为目标时，切削加工方法已不能适应，需要借助特种加工的方法，即应用化学能、电化学能、热能或电能等，使这些能量超越原子间的结合能，从而去除工件表面的部分原子间的附着、结合或晶格变形，以达到超精密加工的目的。属于这类加工的有机械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等。这些方法的特点是对表面层物质去除或添加的量可以作极细微的控制。但是要获得超精密的加工精度，仍有赖于精密的加工设备和精确的控制系统，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大规模集成电路的制版就是采用电子束对掩膜上的光致抗蚀剂（见光刻）进行曝射，使光致抗蚀剂的原子在电子撞击下直接聚合(或分解)，再用显影剂把聚合过的或未聚合过的部分溶解掉，制成掩膜。电子束曝射制版需要采用工作台定位精度高达±0.01微米的超精密加工设备。

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