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求助:谁有快速搬运晶圆的那种结构,非常感谢!

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发表于 2017-1-9 16:57:52 | 显示全部楼层 |阅读模式
        谁有快速搬运晶圆的那种摆臂旋转机构,速度非常快的那种,搬运蓝膜上面切好的那一个个晶圆。听他们说用音圈电机的。有的话请跟帖联系,必有重谢!
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