可在液氢温度环境使用的压力传感器

寂静天花板

当前，压力传感器应用非常广泛，但超低温压力传感器一般只在军事和科研上使用。尤其是在军事上，对压力传感器的要求非常苛刻。目前军用低温压力传感器普遍可以在-200℃环境下稳定工作，性能上需拓展。
据资料，该低温型脉动压力传感器属于电阻应变式压力传感器。传感器采用离子束溅射薄膜技术，在金属膜片上直接生成电介质隔离膜和功能材料电阻膜（薄膜应变电阻），在电阻膜上制作应变电阻，组成惠斯通电桥。当被测介质的压力发生变化时，应变电阻阻值也随之变化，从而使传感器输出电压值发生变化。传感器金属膜片上还制备了一个测温电阻，通过测温电阻，当传感器的工作环境温度发生变化时，测温电阻阻值也随之变化，并提供给变换器，通过变换器获取工作环境温度。低温型脉动压力传感器系统具有使用测量低温区宽的特点，传感器使用温度范围为-253℃~ 60℃(液氢温度)；测量范围：(0～60)）MPa。