高速旋转平台的设计

风若寒 · 发表于 2015-6-29 22:31:59

害怕伏枥发表于 2015-6-26 09:00
1、3000转/分算不得高速。
2、既然是山寨，完全照抄就可以，反正技术权益是个屁。

让前辈见笑了，小公司抄大公司的，大公司抄国外的，国情如此，我一个小菜鸟也只能呵呵了

风若寒 · 发表于 2015-6-29 22:36:21

丹枫911 发表于 2015-6-29 15:49
http://www.cmiw.cn/forum.php?mod=viewthread&tid=358989

这个也是DISCO的设备，不过转速要求高一些，我觉得这里面的连接到联轴器和转盘之间的那个旋转接头难度是最高的

丹枫911 · 发表于 2015-7-1 11:25:58

风若寒发表于 2015-6-29 22:36
这个也是DISCO的设备，不过转速要求高一些，我觉得这里面的连接到联轴器和转盘之间的那个旋转接头难度是最 ...

有高速旋转接头，可以买的，低速的SMC也有，高速的是我忘记品牌了，好像叫布特吧，都是进口的，好几家呢，但是不便宜

乔大葱 · 发表于 2015-7-1 11:51:20

风若寒发表于 2015-6-28 08:46
买的话估计是不行的，因为这个转台表面是一个陶瓷吸盘，所以这个转台中心轴上要接一个旋转接头，要接气管 ...

米思米上面有这个部件的，你没找到？你们有原机器吗？还是别人买的图纸给你们公司的？详聊：QQ1099525409

乔大葱 · 发表于 2015-7-1 11:55:49

丹枫911 发表于 2015-6-29 15:49
看看这个帖子http://www.cmiw.cn/forum.php?mod=viewthread&tid=358989

这个方法看似真空问题解决了，不知道稳定性怎样

乔大葱 · 发表于 2015-7-1 11:59:43

楼主这个是你自己设计的图纸吗？DISCO原来不是这个电机

风若寒 · 发表于 2015-7-1 23:01:04

丹枫911 发表于 2015-7-1 11:25
有高速旋转接头，可以买的，低速的SMC也有，高速的是我忘记品牌了，好像叫布特吧，都是进口的，好几家呢， ...

它这个旋转接头不太一样，它一端接在联轴器，另外一端接转台，就是说它中心轴是要传递力矩的，一般的旋转接头没这个功能，我还没找到这个

风若寒 · 发表于 2015-7-1 23:03:29

乔大葱发表于 2015-7-1 11:59
楼主这个是你自己设计的图纸吗？DISCO原来不是这个电机

不是我设计的，是别人公司的产品

乔大葱 · 发表于 2015-7-2 08:32:57

奥，我们也是抄DISCO的。结构和你有点不一样。。。。核心部分被优化了。。。。

稻香新家 · 发表于 2015-7-2 21:05:29

楼主说的是晶圆前道制程，12晶圆清洗设备

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