光伏电池硅片的生产过程主要如下: / u, z+ {, ~3 T, A8 D: K6 |
一次清洗,即扩散前清洗。主要通过NaOH.HF,HCL等对硅片进行腐蚀处理,完成去损伤层、制绒,去硅酸钠,去金属离子等工艺。
N) l) T, _+ I L( G& s6 \. n扩散。在高温石英炉管内对硅片进行二次清洗前处理。 & B6 k9 J7 V. g* ]; V
周边刻蚀。在工艺室内的一定条件下是硅片的电压达到允许值。
+ O$ J: @) l# o5 Q; b7 M+ T3 T二次清洗,即扩散后清洗。主要完成去磷硅玻璃、漂洗、喷淋、慢拉、烘干等工艺要求。
$ m; e$ o% s- Y4 C( Y$ B5 XPECVD。在真空和高温条件下,对硅片去除水分和空气后镀膜。 ' ]- q7 q6 G) l- y" M4 O/ I Y8 f$ d
丝网印刷。对背电极进行印刷、烘干。 # q( Y5 s# z* L& C
烧结或固化。
& J: _( ]' Q0 y测试。
& P% f+ ]: W/ P/ c. S+ N以上工序基本完成了电池硅片的处理过程,再经过焊接接线,组合装配等配套过程后,电池就可应用。 ) n8 Z$ |/ ?" {
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