光伏电池硅片的生产过程主要如下: 4 [. B% b8 x: E* Q% q, I* ~! b
一次清洗,即扩散前清洗。主要通过NaOH.HF,HCL等对硅片进行腐蚀处理,完成去损伤层、制绒,去硅酸钠,去金属离子等工艺。
4 X6 T' b6 F3 v# ^1 h扩散。在高温石英炉管内对硅片进行二次清洗前处理。 5 W- J- }( u V S1 s
周边刻蚀。在工艺室内的一定条件下是硅片的电压达到允许值。 7 u) \; a" X5 ?4 J
二次清洗,即扩散后清洗。主要完成去磷硅玻璃、漂洗、喷淋、慢拉、烘干等工艺要求。
+ l$ [% _( C, W5 a, m+ PPECVD。在真空和高温条件下,对硅片去除水分和空气后镀膜。
0 y6 g* q$ q. Z7 p d# ~( n5 H丝网印刷。对背电极进行印刷、烘干。 & P" F- _2 {8 g6 }
烧结或固化。
+ ~, b$ {: q+ i5 B. _2 Z0 x& U测试。 8 V: ]' X/ _0 Q& z4 V* M3 l
以上工序基本完成了电池硅片的处理过程,再经过焊接接线,组合装配等配套过程后,电池就可应用。 ! d7 V, {: q0 p9 R% A/ Y, \+ o4 I
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