机械社区

 找回密码
 注册会员

QQ登录

只需一步,快速开始

搜索
查看: 6847|回复: 13

CVD鑽石薄膜材料,中国人搞的

[复制链接]
发表于 2007-3-16 20:00:32 | 显示全部楼层 |阅读模式

* J- i- J& `& w; Y/ p. M/ }# [

3 p9 G, z' ]& [* n, \5 k# W# B8 }9 t; L" \8 A: m1 w+ N0 U9 o/ O5 R; ?7 L' R& l( V7 e( Z8 A9 m, r# W" L0 s& F2 M7 N) x+ u! d P% ~2 {8 O- g( ?! Y& n' t' S5 [) ^3 [1 r- n2 `" R0 ]. U0 j! w5 ]- ^( Q! ~2 V4 t0 F- T- t- n; G: D3 ~$ O2 r+ v3 |6 g% D( F5 J# ]4 I* V6 X' K# F+ r: ^8 l% h3 y; G- B& |$ L1 d9 t0 p5 Z# V6 G+ a' V% @9 |$ l* c; x1 N1 d3 _$ _) h) {% }; @' _, F3 c7 w+ [# p! Y0 h; |% b# e. G7 O9 ^# Z3 o, @+ M1 N! M. i& ~0 {1 ~/ _6 T6 s* l) b2 W3 L2 ~+ I5 E0 d2 r0 Y; U3 P* f" D2 o& w. d% U/ n# p1 D! |7 F6 m. x7 I. _; n9 i6 H' i, r$ w3 w3 \& Q7 P+ o5 L1 n& l) g* {0 \3 L( Y' z$ C( _4 O7 ]/ N5 N) a6 ^+ s5 H& |- F8 S6 F7 t" n& p# O" w/ N6 Q( D' x0 d" {. @: ]2 a5 v u/ l
; X4 \6 @) w2 g9 y% H

X - 光分析 ( XRD ) – shimadzu XRD-6000 ( 40kv30mAstep 0.02 deg.speed 4 deg. / min.fficeffice" />

W2 v, \4 t8 L* R; I; W$ y7 g

 or 1 deg. / min.)

* Y( J; I( E8 { P

  ◎晶體結構

) m" J! Y: Q8 e! ?6 z

  Cubic

/ T$ D3 R; a. S5 ] f w3 l, E

  ◎空間群

2 o9 s3 R, T: }! D/ Z* a& r4 E

  Fd–ffice:smarttags" />3m

; H$ m- [" c& s0 [6 K

  ◎晶格參數(R.T)

4 E- W \" {3 C6 ~) R

  (A) 3.570

& B) X# n% _0 ~ q( ~7 w% E) Z

  ◎密度(g/cm3)

1 H. O9 b2 ~, l

  3.508

8 W: c, g J5 N0 a

  ◎晶面(111)

0 `8 `2 k" Y F* b% S& A' M

  202

5 g7 ~7 G; c, w8 i- V6 ~

粗糙度分析 ( SPM ) - Thermo Microscopes CP Research  ( 50 μm * 50 μm )

/ F; j9 o3 Q# ^8 P4 E/ r- G* W

◎中心線平均粗糙面Ra ( Ave. Rough )

- X2 H7 f. L& X5 }. {

總面積 / 底長86.39 nm霧面,1.052 nm亮面。

6 |# Q& b! L1 \' S- r

◎中心線均方根粗糙面Rq ( Rms Rough )

2 Y+ y! p I' \

104.8 nm霧面,1.321 nm亮面。

% A9 E' t* k6 v+ ?0 M M' B! y

Rp 250.4 nm霧面,2.592 nm亮面,Rv 189.1 nm霧面,6.156 nm亮面。

# w: a: @+ q8 z' L

◎高低差異值為 8 nm 亮面。

( e6 E% F$ E q& o6 I F. k; \, v5 J

 

$ C4 h/ ^3 h& c, B4 u8 {: @& b

 

' K5 b- Q" f- X, Q

 

; @" L( }" I) ]& y1 B

 

( }: N; _* R5 a3 h3 a( q

 

' c2 q9 V1 s- u/ P

 

. B7 @4 ^% C* @7 V% w

 

. B" R! R) K' j$ Z

 

- I; t- @7 ]* x W

 

1 Y" K% _; I5 [

 

0 W1 T' Z; V+ V3 Z' D1 d

 

- A& L6 n) m( r6 u/ z

 

$ d8 L9 j% |+ C" p8 ~

 

& W( Y, r6 `( R* @/ r, y

 

, P3 [. S- g V0 a( T8 q

圖片:

( b% U$ i7 b6 T

顆粒顯微分析一

- C; A4 Q6 a7 \- W/ r! n# g e7 {

 http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/c75c1677bcef434a879d7d44eeaad6f9.jpg

- c( r* r2 Z# S0 U

顆粒顯微分析二

+ T/ Q, P4 X7 C+ p n. s6 G& M( k

http://images13.51.com/8/a/50/c6/jamesliu8029/002cc1a954517aaa99a89fa79f5630f6.jpg

5 U: t. F* k8 V; z/ {8 [

顆粒顯微分析三

9 d9 B+ n( o. c' X* n! }

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/77da81c0c62a779263590857a6c9a566.jpg

5 s7 y5 P& U1 b/ Y

顆粒顯微分析四

0 G. \/ a* V3 i" f6 Q( H

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/f04619a8a3620c771d15dd9e2cde7c39.jpg

9 s2 a; h& m+ r4 U5 m

顆粒顯微分析五

: ^6 p( [$ V9 Z \) Q, B1 B

http://images13.51.com/1/a/50/c6/jamesliu8029/9c35afd2e5743f30280c0bdcde90541c.jpg

2 a) }9 i( H+ h% s/ s1 p) H

顆粒顯微分析六

( d4 K* [& t4 ?$ g; ]

http://images13.51.com/9/a/50/c6/jamesliu8029/45e49448cff9f6edffdd3dfc5fa04ad9.jpg

: V( j% W" _/ h/ \1 g

顆粒顯微分析七

1 h/ [0 B9 j5 W# u* R+ O" n) v3 h

http://images13.51.com/1/a/50/c6/jamesliu8029/aa0eb2392c3d8a47d29f8e3bb9cebd42.jpg

( ]% u1 A/ a# J

 

5 l, h! [* G6 S9 E2 [; {) Z% m

      

回复

使用道具 举报

 楼主| 发表于 2007-3-16 20:10:58 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

補充:
& _" ^% A5 h) y) t0 b, G這是完全由中國人研發並拋光完成的CVD鑽石薄膜材料
' Z( n% I2 S& U5 ?* W, `$ s4 S日本人做到2吋!!中國人做到4吋+ M2 k/ S6 u6 L0 \* C5 J# V8 ?
圖一是鑽石膜晶片拋光品質' D- {, v% j" c  |
圖二是拋光與未拋光之比較% m) o2 x4 y! }* B
圖三至圖七是電子顯微鏡照片
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2007-3-16 20:25:53 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

呵呵,希望中国的各行各业都能像这样超过日本人~~~~
回复 支持 反对

使用道具 举报

 楼主| 发表于 2007-3-20 23:50:30 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

為啥沒人頂??不懂材料特性??
, k% E: K& k& l; f  P6 s我再補充一下!!!
& k" L6 z" x+ ?1 j/ i6 {鑽石的硬度在100GPA密度3.2g/cm3以上,熱傳導率1300~2100W/mK(銅397),比熱1.81J/cm3K(銅3.4),熱擴散率7.2~11.6cm2/s(銅1.16)
3 d: m. N9 W/ Q# k- s1 x, B: c. A5 R其散熱及不沾粘性是世界公認
  J6 K: c0 W4 j, Z  M2 e在電子應用LED上可替代藍寶石基材,可作IC等散熱片
+ ~2 [* ]+ n" g% {* z2 o在機械行業可用精密模具(如鏡片)、耐磨材料
" ?+ H. s' n2 ~& @" i2 v; t我的QQ是473137404
. w% r- J$ q+ ^歡迎大家一起討論
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2007-3-21 09:40:11 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

不懂不懂,请教:这种钻石薄膜是柔性的吗?可以做密封件吗?可以成型吗?是否有买?价格是否很贵?谢谢。
回复 支持 反对

使用道具 举报

 楼主| 发表于 2007-3-21 13:17:02 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

原帖由 滴水天 发表: V7 t, {* O' \* o2 t5 f6 P& y 不懂不懂,请教:这种钻石薄膜是柔性的吗?可以做密封件吗?可以成型吗?是否有买?价格是否很贵?谢谢。

O) l; O; r% H" @$ |" J

這是平面剛性材料,因需拋光,才能達到1.052奈米的粗糙度,用於耐磨導靠零件,耐酸鹼,可替代所有超硬材料,現規格是四吋

+ ?" L+ |# _5 T. a

可惜不是柔性的!!如有興趣研究者,可與我連系  

: y9 Q/ X5 t( ~/ k) \' U# c

QQ: 473137404

回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2007-3-21 14:31:38 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

想了解下:使用什么设备(哪国的)来制造的?
回复 支持 反对

使用道具 举报

 楼主| 发表于 2007-3-21 15:06:55 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

中國人自行開發的CVD設備

回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2007-3-21 15:22:17 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

只知VCD,CVD?液晶面板。。。?
回复 支持 反对

使用道具 举报

 楼主| 发表于 2007-3-21 15:39:24 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

fficeffice" />化學氣相沉積技術(Chemical Vapor Deposition縮寫 CVD)

+ N8 _0 \; Y, b1 [2 i

ffice:word" />化學氣相沉積是製造微電子元件時,被用來沉積出特定薄膜(film)的技術,所沉積出的薄膜可以是介電(dielectrics)、導體、或半導體。

! u0 y) } J5 K6 ?+ a9 t7 P( B% Q7 ?

 

! \+ \- Q+ _0 F1 `* ^7 n% [

 

5 @3 O9 I7 I/ H( w

 

, Z, \8 b8 U( G4 ^

物理氣相沉積技術(Physical Vapor Deposition縮寫 PVD)

8 _$ P6 n$ [) v5 [, M

物理氣相沉積應用方式與化學氣相沉積相似,主要有三種製程:蒸鍍(Evaporation Deposition)、離子鍍(Ion Plating)、濺鍍(Sputtering Deposition)及衍生性濺鍍。

回复 支持 反对

使用道具 举报

您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册会员

本版积分规则

小黑屋|手机版|Archiver|机械社区 ( 京ICP备10217105号-1,京ICP证050210号,浙公网安备33038202004372号 )

GMT+8, 2024-11-27 12:37 , Processed in 0.060079 second(s), 16 queries , Gzip On.

Powered by Discuz! X3.4 Licensed

© 2001-2017 Comsenz Inc.

快速回复 返回顶部 返回列表