电容微位移传感器是通过什么来实现测量的，有什么方法？

xhy0716

电容微位移传感器是通过什么来实现测量的，有什么方法？

/ \* U% g, e7 z: @$ m8 ?, ~

baikenor

电阻应变形式的传感器一般是组成电桥，靠直流电压激励，当收到压力等信号时，电阻发生变化，两端输出压差信号
9 q: s$ o+ L/ x- [
+ p, a! {* m+ r电容由于直流无法通过，采用交流激励，电容在交流下有阻抗，这样就和直流激励电阻一样了，一样分析，当电容变化（介质变化，基板距离，大小变化）的时候，  两端也会有电压输出
2 g- K* }/ m% e; b1 F
5 J5 u  f! L( I1 Y% v电感性的传感器也是交流激励，当电感的铁芯，或者线圈变化时，也会有电压输出

- t' Z2 c, h4 j) c
3 g7 j+ \/ Q" Z" t4 M