请行家出山，该对焦板是如何实现电子束自动对焦的？

dotaman

打瓶酱油~！~

浅蓝色

鬼魅道长 发表于 2013-4-3 09:30
2 K4 _( X2 P+ }% S5 s不是这样的，兄弟，自动对焦是通过扫描三个等距的电极，通过收集每个电极不同的电压值，分析波形来判断对 ...

是这样的啊，挺高级的

亲力亲为

鬼魅道长 发表于 2013-4-3 09:30
: m. ~7 N2 C7 B  O) |不是这样的，兄弟，自动对焦是通过扫描三个等距的电极，通过收集每个电极不同的电压值，分析波形来判断对 ...

既然平面对焦，那直接用一块不带孔的对焦板不就可以了吗？那块对焦板上均匀分布的9个孔，该不会是多余的吧？

鬼魅道长

亲力亲为 发表于 2013-4-3 17:45
既然平面对焦，那直接用一块不带孔的对焦板不就可以了吗？那块对焦板上均匀分布的9个孔，该不会是多余的吧 ...

要扫描的，哥们，一定要在示波器上扫出一个波型来，正确了，才算对焦成功。对点聚焦三个孔就够了，九个是为了平面。
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DJEL

我是做电子扫描显微镜研发的。
7 y( M: J: T& M# M$ n' A* w0 t7 [6 L
: q7 p1 }, X# }  A' F在我看来，那几个孔是用来电子束通过的，叫做光澜，当其中的任何一个孔和下面的物镜中心对中后（就是对焦），改变物镜的聚焦条件，会看到电子束光斑的大小变化，但是中心不变，这样就说明光澜和物镜对中了，对中的目的就是为了减小像差，像差越大就会影响到电子束光斑越大。

: H5 S) y- Y% J' b  W, `可以多多技术交流，我做电子束设备的，所以特别希望和应用或者相关领域的朋友多多交流，请加我qq3390696138