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真空机组搭配,请教

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发表于 2012-2-9 10:42:36 | 显示全部楼层 |阅读模式
假如需要给一个1000mm×1000mm×1000mm的真空室配一套真空机组,高真空,真空度要求能达到5×10e-3pa,采用分子泵加旋片泵的组合。! U, \% Y& G  Y# v6 z

) H' t8 O1 U  c- B4 ]现在想知道的是:
5 `6 I6 g3 j+ ~
# c8 h( K' K6 i2 x8 c9 _& T一台抽速1300L/s的分子泵抽和10台抽速110L/s的分子泵抽,哪个效果更好?然后假如选用1300L/s的分子泵,前级旋片泵的抽速应选多大?
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发表于 2012-2-9 11:08:03 | 显示全部楼层
这个得计算,复杂也不负责,但得算,
' ?& O" s; F: ~/ o' ^: V4 I: z+ t* h2 D4 R) s3 f) ~6 E' N
你算好了,也可以发上来,大家给你看看,猜谜是不行的,
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 楼主| 发表于 2012-2-9 14:28:49 | 显示全部楼层
2266998 发表于 2012-2-9 11:08
5 H7 m! ?+ u3 a这个得计算,复杂也不负责,但得算,
0 o3 U2 q2 q$ @& R$ H% m
( Q: Z, R7 v% O  A你算好了,也可以发上来,大家给你看看,猜谜是不行的,

$ m9 A' B8 l( f0 Z3 W998大侠:如果前级抽到1000Pa的时候开分子泵,抽到1000Pa这个时间相对于整个抽气时间是不是可以忽略不计?按高真空下的抽气时间算,主要考虑真空室材料的出气率,但是这个材料出气率的表我没有...,还有就是10个110L/s小分子泵同时抽,是单纯的叠加为1100L/s吗?还有对于1300L/s的分子泵,查到前级选12L/s的泵就可以了。
0 D& p: b3 G7 A+ Y
- L/ r0 I* Q1 [8 A) \/ c* N4 x" [
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发表于 2012-2-9 14:35:47 | 显示全部楼层
晶戈铁马 发表于 2012-2-9 14:28
! H- m1 D1 ?5 ?; z9 t% H3 o  y4 [; C998大侠:如果前级抽到1000Pa的时候开分子泵,抽到1000Pa这个时间相对于整个抽气时间是不是可以忽略不计? ...
  d& R0 B# V' ~& p5 ~' R4 E
对于一个真空系统,你要计算,而不是估计,怎么玩,阿拉告诉你,4 E: }7 }' B% r! G# F) k! {

" t7 e9 S6 P, F对于一种真空泵,有一个工作曲线,即在一定时间内,一定工况下,可以达到的真空度,这个还要结合工程热力学计算,因为随着抽气,温度是变化的,曲线也是变化的,这个要计算,
* Z# F$ U) B3 [* I# H. o6 T% C( [) A1 t' [3 u8 D
粗真空系统,到一个真空度,就没有效果了,这个要计算,比如升温,还可以继续抽气,这个要折算,
$ O, m5 X( F: s9 \: b! c7 w1 V0 {' |
转换的时候,要考虑阀的密封性,再计算细真空的抽气速率,/ B5 x( V( }9 N, q7 N7 P" P
6 K8 a' p$ \# p% s/ q6 K6 W* d
总之,这是技术工作,要每个步骤玩出来,不能估计什么东西,别人说的也未必对,尤其网上,胡说的非常多,说了也不负责,比如阿拉,哈哈,
" z5 ~6 W9 ^" o  I4 l2 z( q% F) _- a$ t' \4 B
你按阿拉说的,每个步骤耐心玩吧,
; n  }* g5 b1 }/ i

点评

当你不完全明白人家的工艺时,只能给人家建议,不能包办什么,对一个自己不完全了解的过程,说的过细了,后果是严重的,人家按你数据做了,造成大的损失,你负责吗?所以,你只能说技术的过程,实现他是人家的事情  发表于 2012-2-11 16:43
久久发,只对自己的技术负责。  发表于 2012-2-11 01:20
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发表于 2012-5-30 16:54:05 | 显示全部楼层
根据楼主描述的真空腔体,是个不算大的,而且真空度要求也是中真空,很容易达到。+ Q$ v1 _, x0 Q: N  Q$ Y
* c3 R0 H1 B2 B4 Q* n% L8 e  V. S7 o& @9 @
对于这样的真空腔体,除非你有特别的抽气时间需求,否则选大泵和小泵都是一个样。另外如果楼主说的10台小泵采取分布式安装,那当然要好点,但分布式安装的其前级泵如何处理?( h7 T5 X9 S3 B% i; @

+ _, i1 p- h5 Z. O, k1 M所以啊还是根据腔体上开口尺寸选择一台分子泵+机械泵组合即可,建议分子泵选择600L/S的,前级泵选择6~8 L/S的就完完全全的满足要求了。
  f. }+ B1 R/ [
! z" Y2 r+ ?7 }; M& U再大的分子泵,你就会发现等机械泵抽到10~1 Pa后启动分子泵,还没等分子泵满转速频率,真空度已经达到你的要求了。呵呵/ \8 i3 o* o% q) e( \6 b

5 ~8 y- w; z) r/ z) w4 t( ?6 o) g$ Y2 x
以上的前提是 真空腔体不存在大的泄漏,内部材料不存在大的漏放率。
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发表于 2012-5-30 16:59:42 | 显示全部楼层
另外补充一点* P8 w$ ~9 `- G( X, r; _1 n
; U' y/ C5 I) P4 Z* }
计算过程我就没帮你算了,你自己下载真空设计手册算算吧,有相应的章节
+ z2 ^. |& P2 n1 w' I' |/ u3 [' v. B2 u% Q9 {7 U; L- T% O
计算选择什么样的泵所需要的抽气时间
* r0 y, T7 P9 C( z. C
4 Q& n$ N' }% T4 J/ B前级泵的选择等等。
# V+ u7 u- C% J1 Q1 Y% U3 z  f/ S
下载地址我找了个百度网盘的,正规的。
+ O* X0 D7 G* m% t# G7 T4 ~- r: {  G: J8 x
http://pan.baidu.com/netdisk/singlepublic?fid=228853_1498536223 s. Y3 l( r% _! V
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发表于 2024-3-5 10:40:36 | 显示全部楼层
网址已失效了,可惜了
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发表于 2024-5-24 14:15:07 | 显示全部楼层
骆马湖铁匠 发表于 2024-3-5 10:40
' e2 n. o: K! ]: w3 T! X; r网址已失效了,可惜了
+ Y1 T8 t3 }; O" h6 ^: z
Mechtool,搜这个可以查真空设计手册,就是不能下载0 z- N! H8 e9 S; l4 k1 r
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发表于 2024-5-25 08:07:58 | 显示全部楼层
gunianyisheng 发表于 2024-5-24 14:15
6 B5 v  r' {- |$ L. g" Y! z9 b' ~Mechtool,搜这个可以查真空设计手册,就是不能下载
; s% `2 ?8 K  e: B$ g5 ]% ?
谢谢大侠
2 o/ n& T- P  K( A! y
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