求助：哪种机构可实现μ级精度调节？？？

andy1216

各位达人:
    小弟想请教一下，我现在要做一个设备，要求在某一方向调节时精度在μ级，常用的丝杠和线轨无法实现，请教各位前辈这方面的宝贵经验，不甚感激！！！！
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古林lily

这个问题问的有点笼统，丝杠和线轨也有μ级的啊！关键是检测系统，采用全闭环的检测系统。也可以用双齿轮齿条机构

动静之机

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7 g) p: C0 G' p5 k
您要求总的工作行程是多大呢？ 进给时的负载有多大呢？
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andy1216

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* ^5 ]1 q3 @: P2 U
你好lily，谢谢你的回复，是这样的，我再详细一点说明情况，目前我想用纯机械结构来控制调节精度，从而使一个部件在垂直方向运动，精度控制在μ级，您说的双齿轮齿条是什么结构（例如哪种设备上有应用），谢谢！！

andy1216

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您好，我想要的简单理解就是类似于X轴滑台的东西，我部件装在上面可以实现μ级精度调节，现在要求行程无所谓大小，负载在100kg左右，这种只是单纯的机械控制，其他的方式您有所了解吗?

螺旋线

参考精密磨床的进给机构。
0 Z2 e( d2 w6 l8 A' ]国产的MG，进给当量是0.2微米。

andy1216

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4 \+ q: p; _3 D) f) l9 U1 J9 ~
谢谢您的回复，您说的MG是？

螺旋线

MG是就是高精度磨床，比如MG1320，MG1412。