关于传感器的真空封装，俺对这个特别感兴趣

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"钞票像冰雹一样砸在头上"
. g4 S2 ~5 R" ]' `多美妙的场景

鬼魅道长

咱坛子里做这个的兄弟来说句话吧，关于这个封装，是怎么做的呢？
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另外，用过mems的兄弟也来说说，使用中，有没有感觉到封装手段的不同带来的影响？

李泽

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长驱鬼魅 发表于 2011-5-12 05:50
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: u5 w! b: J* Q
另外，用过mems的兄弟也来说说，使用中 ...

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5 l! S" W2 n! v: c前几天看一个继电器还想过这个问题呢。
1 D1 S" N  ^8 T/ H' M# V# Q大侠分析问题很细，表达能力很强。很细很强大，十分佩服。
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xiaoyetongxu

野史：
5 q, w& ]+ b4 |5 p2 T+ W" f; F  C某位先生在普林斯顿的某个实验室干活。有87种材料中有4种表现出智能材料的特性。F22在低速高速飞行时，机翼前缘厚度是发生变化的。

c620

这个真空封装和北京烤鸭的真空包装是一个原理吧。

aniljiang

先由机械泵将大气压抽到约-1BAR，再由分子泵抽到-3——  -5BAR。国内的密封油，分子泵，材料表面的处理（DEGAS），难啊。