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网上淘到的资料: 一、设备用途
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链带式烧结炉主要应用于半导体器件、金属陶瓷、可控硅器件、玻璃封装器件以及各种厚膜电路的烧结和焊接、排腊、烘干等工艺,是一种连续工作的隧道式结构烧结炉。
二、概述 :该设备是采用网带式输送器件进行工艺过程的隧道式结构设备,可用惰性气体进行保护,加热和冷却段炉膛采用高温优质不锈钢材质加工而成,分别承担器件的加热和冷却过程的功能。 此设备加热区分为七段每段500mm,共计3500mm、四面加热7点控温,链带速度采用变频无级调速,设备有完善的供气、供电系统及气体保护措施,电控系统简单,可靠性高;设备具有多种故障报警及安全连锁装置。 三、主要技术数据: 1、' f# o& `0 h" J; ^3 y) \9 j0 }
工作温度范围:300℃~600 ℃ 2、5 V4 R8 l8 C2 Z" R6 s2 B
常用温度:400 ℃ 3、0 x& Z) V8 j: I, m3 I) Y
炉膛内截面均匀性: ≤±1.5℃ 4、
* X: c1 m, W* K6 | {5 v2 v# _加热区:分六段加热控制 5、
$ \' W/ R9 v5 O- N: e) R链带传送速度:30—300mm/min 、无级调速 6、
8 [, b' q8 _1 q- K- I2 Z g链带宽度:240mm 7、& H$ V. r. { w& n
炉子全长为11米共包括:工作台、(机头、机尾两段长各为900mm)、冷却段、加热段。 8、
0 o* r1 u# e: g" f# D+ K炉膛口径:260mmx170mm(炉腔有效尺寸) 9、
6 r- S( T. U7 Z! l气路系统:氮气 气体流量:氮气=300~700L/min 10、
- u5 m0 E0 ^$ P冷却段冷却方式:水套冷却水 11、
* c. G3 b5 v- N5 F8 k/ F进出口封口形式:氮气幕帘+机械幕帘 12、/ T9 x# c: e, Z# t, Y% D" E7 P
动力条件: 1)
' J6 O- {1 F; ~8 U电源:电压AC380V 三相五线制、50HZ 功率≤45KW 2)
! g) v9 l: U- u' h( s2 t/ }冷却水: 软水、水压≤0.2MPa、流量根据冷却温度情况适当调整。 13、0 L- } S3 n1 N( _' e
设备外形尺寸:11000mm(L)X900mm(W)X1500mm (H); }! R8 w2 c: x. A- z* Y2 u* b! Y0 R
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