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测晶圆温度分布均匀性的温度传感器适合用哪一款,可不可以按要求定制?

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发表于 2025-3-22 01:02:08 | 显示全部楼层 |阅读模式
测晶圆温度分布均匀性的温度传感器适合用哪一款,可不可以按要求定制?

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发表于 2025-3-22 13:59:33 | 显示全部楼层
我之前还是贴热电偶,然后热成像辅助
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发表于 2025-3-22 16:28:43 | 显示全部楼层
热成像相机
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发表于 2025-3-22 21:17:44 | 显示全部楼层
要测得准也只有热电偶一个选项吧
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