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测晶圆温度分布均匀性的温度传感器适合用哪一款，可不可以按要求定制？

发表于 2025-3-22 01:02:08 | 显示全部楼层 |阅读模式

测晶圆温度分布均匀性的温度传感器适合用哪一款，可不可以按要求定制？

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发表于 2025-3-22 13:59:33 | 显示全部楼层

我之前还是贴热电偶，然后热成像辅助

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发表于 2025-3-22 16:28:43 | 显示全部楼层

热成像相机

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发表于 2025-3-22 21:17:44 | 显示全部楼层

要测得准也只有热电偶一个选项吧

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