超精密机械设备设计与开发

养猪东篱下

文不对题

帕肉赛斯

怒砍一分

skyll

( G( |7 c* i0 ^0 B( h3 a怒刷一分

喂我袋盐

lz来点干货，怎样的超精密

寒寒thunder

怒刷一贴？？？

xfxywzy

目前的精密单方向平台，已经可以做到纳米等级的进给（1nm，100mm行程）。可能只有很少的行业会用到，价格也比较昂贵（10W RMB）。其中纳米等级的控制目前的难点在于驱动器，必须使用超高分辨率的驱动控制模块来控制。
现在有一个样品正在研究，品牌PI，可以去他们的官网看看，有余等级限制发不了链接，可以直接搜Physik Instrument. 有很多超精密控制的模组。

xfxywzy

发不了图片，具体的结构初步来看是需要2-3级调节。
4 c: I; i8 }* t, m+ G第一等级是X-Y的粗调节，精度在±2um之内就行，第二等级调节就是PZT压电陶瓷调节，精度可以做到进给0.1nm,行程15um.

系统的空气主轴的性能也需要密切关注，因为碟片测试不仅仅有精度跳动要求（跳动越小越好 50nm以内），对轴也有速度控制要求（0.005%）。目前合适的供应商也在寻找中。

喂我袋盐

xfxywzy 发表于 2023-3-9 10:36
8 v0 W: o/ [/ X9 V* T5 `发不了图片，具体的结构初步来看是需要2-3级调节。
- v' z" e, }& r" C: J' _! H9 |* `第一等级是X-Y的粗调节，精度在±2um之内就行，第二等 ...

不知所云
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328Feng_328

愿闻其详！

长涯

喂我袋盐 发表于 2023-7-13 11:01
不知所云

7 F  {6 x; y: a# _( I- |+ a应该是先用第一级运动单位，比较快速并且较准确的移动到制定目标点附近，然后第二级超精密运动单位精确控制检测点的位置吧