10级无尘设备内材料要求

zbn@2016

请问，有没有大神是做过10级无尘等级要求的设备的，我想咨询下内部的机械材料，运动组件是不是有特别的要求。环境是：氮气环境下，10级（上方布有FFU）
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远祥

这个需要增加额外的冷却防护液来保护密封圈。