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发表于 2020-4-17 09:34:59
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镀膜过程中产生喷点主要有以下几种原因:$ p) @9 U( c9 J; k: c# ~( A" \" t% V
1、镀膜材料纯度不高,含杂质较多,预熔过程中无法将这些杂质去除,蒸镀过程中杂质溅上工件表面形成喷点。
, Y3 J6 S' [& p: W4 w1 y x! X2、材料较为潮湿,预熔时电子枪光斑不能将表面的材料全部熔化,在蒸镀过程中也容易产生喷点(这种情况在用国产电子枪镀制MgF2及一些直接升华的材料时较易发生)。* a0 ]/ ~ [8 i6 v& P+ |
3、镀膜前对材料进行预熔时不够充分,蒸镀过程中材料里的细小颗粒溅上工件表面形成喷点。
8 L9 v8 ?* v; }3 X8 g8 V4、镀膜过程中,电子枪束流过大引起的材料飞溅产生的喷点。
; n9 t& l* o- N# m* B二、潮斑形成的原因:0 z' x" E$ |2 D" X
1、清洗液配比不好,含有较多水份,清洗后工件表面留有残迹,镀膜后形成花斑。$ v6 Z! E$ p( H, C0 S% `
2、镀制两个面以上的工件时,一面镀制完成,清洗第二面时,镀制完的一面受到污染,在第二面镀膜后形成花斑。. B# i2 T0 f3 \* x
3、工件本身含有的水份(工件白片制作过程细解),在蒸镀前的烘烤过程中逸出,蒸镀后形成潮斑。
0 }* ~$ S" d, W4 v4、镀膜夹具在烘烤过程中会有水汽以及其它废气排出,蒸镀后在工件表面形成潮斑且对镀膜后的光学特性产生影响。 |
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