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镀膜时,产品表面形成了火山口是什么原因造成的?

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发表于 2020-4-7 09:03:13 | 显示全部楼层 |阅读模式
真空镀膜,产品经常性的会出现些斑点,或者是火山口,而且就是平板工件,这是什么原因造成的,怎么解决了?
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发表于 2020-4-7 10:51:11 | 显示全部楼层
lz上点照片看看
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发表于 2020-4-7 13:40:35 | 显示全部楼层
能描绘的具体点吗,再上个图
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发表于 2020-4-8 19:34:11 | 显示全部楼层
火山口具体是什么样子的,楼主有图片吗?
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发表于 2020-4-17 09:34:59 | 显示全部楼层
镀膜过程中产生喷点主要有以下几种原因:
2 w2 [, [' ?2 r# \+ N- J1、镀膜材料纯度不高,含杂质较多,预熔过程中无法将这些杂质去除,蒸镀过程中杂质溅上工件表面形成喷点。
3 r3 |9 V8 d! }) Z" P- U. t! u2、材料较为潮湿,预熔时电子枪光斑不能将表面的材料全部熔化,在蒸镀过程中也容易产生喷点(这种情况在用国产电子枪镀制MgF2及一些直接升华的材料时较易发生)。
- O+ x# [* \7 T  S2 Z9 W. D3、镀膜前对材料进行预熔时不够充分,蒸镀过程中材料里的细小颗粒溅上工件表面形成喷点。
6 i6 `$ e$ E* B% k! E* ]4、镀膜过程中,电子枪束流过大引起的材料飞溅产生的喷点。
/ n. I$ Z0 W  A二、潮斑形成的原因:
8 n% I  }( F8 @+ ?  I% {- h" {1、清洗液配比不好,含有较多水份,清洗后工件表面留有残迹,镀膜后形成花斑。
0 Q! _2 ?8 t! U' c  D9 ~% U0 ^  ^2、镀制两个面以上的工件时,一面镀制完成,清洗第二面时,镀制完的一面受到污染,在第二面镀膜后形成花斑。7 g# G5 {8 f. D+ W0 C
3、工件本身含有的水份(工件白片制作过程细解),在蒸镀前的烘烤过程中逸出,蒸镀后形成潮斑。
  z% w9 l3 M2 u6 }9 V4、镀膜夹具在烘烤过程中会有水汽以及其它废气排出,蒸镀后在工件表面形成潮斑且对镀膜后的光学特性产生影响。
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发表于 2022-10-21 10:05:49 | 显示全部楼层
大家好,我们是真空熔炼自有工厂,合金材料与合金溅射靶材,有需要可以联系我
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发表于 2023-1-9 18:54:11 | 显示全部楼层

% C' O4 C3 c$ M8 Q- L5 @(ง •̀_•́)ง(ง ˙o˙)ว真空室不洁净,有污染。
6 S. h7 L! m* z" _/ r; |9 ]$ m3 D0 {
3 X5 x  j" z  o% S8 p
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