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发表于 2020-4-17 09:34:59
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镀膜过程中产生喷点主要有以下几种原因:
# B! e S m, L5 q6 P1、镀膜材料纯度不高，含杂质较多,预熔过程中无法将这些杂质去除,蒸镀过程中杂质溅上工件表面形成喷点。
y- q8 J- c4 U0 y2、材料较为潮湿,预熔时电子枪光斑不能将表面的材料全部熔化,在蒸镀过程中也容易产生喷点(这种情况在用国产电子枪镀制MgF2及一些直接升华的材料时较易发生)。
; A% |$ ]6 Y2 I; g. k2 c3、镀膜前对材料进行预熔时不够充分,蒸镀过程中材料里的细小颗粒溅上工件表面形成喷点。
3 x* B( y0 h* P4、镀膜过程中,电子枪束流过大引起的材料飞溅产生的喷点。
& R t% T$ Y% o$ E: C; h8 @+ m二、潮斑形成的原因:3 P4 i. d( E& H% S- I
1、清洗液配比不好,含有较多水份,清洗后工件表面留有残迹,镀膜后形成花斑。
6 _; F, @, ^! h% L( s2、镀制两个面以上的工件时,一面镀制完成,清洗第二面时,镀制完的一面受到污染,在第二面镀膜后形成花斑。1 P h2 I1 G5 }' N# |2 B1 F5 ^3 Q
3、工件本身含有的水份(工件白片制作过程细解),在蒸镀前的烘烤过程中逸出,蒸镀后形成潮斑。) e' C- S. u9 p
4、镀膜夹具在烘烤过程中会有水汽以及其它废气排出,蒸镀后在工件表面形成潮斑且对镀膜后的光学特性产生影响。 |
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