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发表于 2018-6-29 10:41:41
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2 @: P# O! k- W4 v0 c* T9 B
这个只是验证不同设备的测量相关性。。
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7 y% Y; V1 g5 q: x; H我说的更直白一点吧1 Y: y& f' V1 q
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切片膜厚是最精确最直观的,因为目前用扫描电镜可以测量0.1微米以上的厚度毫无压力,很多地方可以做到% `3 f4 C, F: w4 j
, W' X( h7 k# C; Y' n8 q# G9 l而你要求的阳极膜厚,用400X的金相显微镜就可以量测,这个数据我们可以看作是真实值(会有偏差,但是可以忽略)3 [( ~7 [" T) M5 e3 O8 f
d4 F% X$ R: A* b" W8 i这个时候就可以采用这种磁性膜厚仪来测量同一片产品,多次测量的数据可以看到重复性如何,取多次测量的平均值和金相测得的真实值做比较,看看偏差多少,可以人为补偿(前提是你重现性要好,重现性不好那就证明这个磁性膜厚仪不能测量)
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不知道我讲的是否够清楚。, Z" \6 ?$ w+ j* g
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