真空镀膜设备镀膜室体尺寸

oh小二

大家好：
* O3 E( m+ X5 c6 a' P3 k0 m. y& P5 V       社区内有没有做真空镀膜设备的大虾，有个问题要请教。
: [/ d$ Q% A! R8 Z+ P       七八十年代，日本做的真空镀膜设备腔体，是如图一所示，还是图二所示。图一是一个大半圆，图二是现在普遍的一种，半圆带两条平行的边。
  ?, [( M6 j8 D% d( `

mixin0756

钟罩要承受压力，图2优与图1。

oh小二

mixin0756 发表于 2015-9-11 10:14
* q6 B8 @1 n6 y钟罩要承受压力，图2优与图1。

  i( @6 j# X& Y% k谢谢，我是在改进日本的老机器的时候发现的这个问题，客户那边测量的尺寸，与图一相符，只是现在与常规（图二）不同，所以就想确认一下。
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