微米级精度的测量，有哪些方法

忍爱天下

最近在测一些数据，要求精度至少在1um以内，现在自己了解到的关于一些测量的工具如游标卡尺、深度尺、高度尺、百分表、塞尺也就在0.01mm的精度，内径、外径千分尺可以达到0.001mm但是在一些场合用他们来测量的话碍于结构形式不能实现，而千分表的话则对于多次测量需要找一个基准做参考，且主要用来测跳动的居多。现在机床上精度用的比较高的测量装置就是光栅尺，然而它不能像卡尺这样用着随心应手，再者一些比较高端的测量工具如激光干涉仪等一些光学测量元件其价格昂贵。
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# o: E# v% V5 O# |) O( i8 |) i) E各位在实际测量一些微米级或者精度更高的尺寸时，用的是什么测量工具？
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" u& T* v! a& M) A* J5 L$ z6 _小弟不才，才疏短浅望各位前辈能指点一二。谢谢。如测量直线导轨， 滑块的测量与导轨侧面的距离要求精度微米级以内。

LIAOYAO

昨天才发过  求精度为微米级的测量方式或工具？
" V1 |$ y9 K8 U7 A& K今天再发个  微米级精度的测量，有哪些方法
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帖子内容基本上有90%以上是雷同。

寂静天花板

测量的先决条件是确定要测的是什么量，也就是要对特定的被测量作明确说明，或者说对要测量的量下一个定义。实际上，被测量应相应于所需准确度而完整定义，以便对与测量有关的所有的实际用途来说，其值是单一的。举例:一根长度标称值为1m的钢棒若需测准至微米级，其说明应包括定义长度时的温度和压力。如: 应说明被测量为钢棒在25.00℃和101325Pa时的长度。如果仅说明钢棒在101325Pa时的长度，没有说明温度，那么，对于不同的温度，会有不同的钢棒长度值，被测量就不是单一值了。然而，如果被测长度仅需毫米级准确度，其说明可能就无需规定温度或压力或任何其他影响量的值。

jin386

基恩士的位移传感器，精度可以达到0.0001，测量范围比较小，只有几十

扬天测量

要不做检具，要不老老实实比对测量
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沙漠鹰狼

这个精度对测量工具、测量员、测量环境要求真的太高了，国内这样的企业多吗？

chuangyan

这应该叫纳米测量技术了

立为智能

( @% t6 @/ L! Z) i  M微米级精度要求，实际分辨率要求则是纳米级精度，常见的普通测量显微镜等受数值孔径限制都已无法满足，如要求微米级精度测量Z方向深度或粗糙度，基本上是要使用光学轮廓仪,

立为智能

光学轮廓仪又叫白光干涉仪，152-1950-4346孙

hitele002

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