|
楼主 |
发表于 2007-4-23 23:35:00
|
显示全部楼层
Re: CVD鑽石薄膜材料,中国人搞的
五、其他可供應用方向
|% G+ I& G( G& K* E1 c* O1 z1、Diamond bonding tools for semiconductors(TAB Tool)
, _) W% @. k1 z, X2、submonuts for LASER High Power LED& n9 T x, D0 C T3 ]
3、CVD Diamond Disk/ }3 ?+ z, k: j
以全球鑽石膜生成及拋光技術來論,日本住友電工長期以來一直在CVD領域從事不同性狀與品質需求的CVD Diamond產品,供應工業加工用途、或為次世代電子元件的產品。; X6 D+ f# _4 K M0 H
1995年住友電工發表大面積3英吋CVD Diamond Wafer製作及研磨試作成功;1998年發表利用大面積CVD Diamond Wafer製作2.5G Hz Diamond SAW元件,用於高頻產品;2001年發表5G Hz Diamond SAW發振元件;2004年將CVD Diamond Wafer及 Diamond SAW關鍵製作技術授權並導入精工EPSON。, m+ H& Z1 A* l6 c$ ^
EPSON在Diamond SAW元件早已開發完備商品化,並繼續開發更高頻率元件、半導體場發射元件、高純度奈米多晶Diamond、高性能Diamond Heatsink元件、LASER Diamond Heatsink、高功率FET等元件,且多數已開發完成,但這幾年來以上這些高階元件遲遲未見市場化,其關鍵在於CVD Diamond Wafer未能有效量產化,材料取得不易,製造成本太高,無法降低成本之原因。
8 i, L3 A9 N& }9 k8 J6 A; C我公司完成以4吋 1mm矽晶圓基材、達成面粗度8nm鑽石薄膜晶片,單機日產8片,良率達95%之成果,完全可達商業量產化之要求 |
本帖子中包含更多资源
您需要 登录 才可以下载或查看,没有帐号?注册会员
x
|