有无可测两平面平行度的仪器？

小北方2010 · 发表于 2010-3-29 22:29:49

和大家分享一下激光干涉仪的工作原理：
以激光波长为已知长度利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量.工具激光干涉仪有单频的和双频的两种。激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。
双频激光干涉仪原理

双频激光干涉仪是一种新型激光干涉仪,
基本原理与单频激光干涉仪不同。如图所示，它是利用光的干涉原理和多卜勒效应（此处指由于振源相对运动而发生的频率变化的现象）产生频差的原理来进行位移测量的。
激光器放在轴向磁场内，发出的激光为方向相反的右旋圆偏振光和左旋圆偏振光，其振幅相同，但频率不同，分别表示为f1和f2。经偏振分光镜，一部分反射光经检偏器射入光电元件D1作为基准频率f基 (f基＝f1－f2)。频率为f２的光束完全反射，经滤光器变为线偏振光f２，投射到固定棱镜并反射到偏振分光镜处。频率为f1的光束折射经滤光器变为线偏振光f1，投射到移动棱镜后也反射到偏振分光镜处，两者产生相干光束。若移动棱镜移动，则反射光的频率由于多卜勒效应而发生变化，其频差为多卜勒频差Δf。
频率为f1±Δf的反射光与频率为f２的反射光在b处汇合后，经检偏器射入光电元件D２，得到频率为测量频率f测＝f２－(f1±Δf)的光电流，这路光电流与经光电元件D１后得到频率为f基的光电流同时经放大器进入计算机，经减法器和计数器，即可算出差值±Δf，并按公式计算出移动棱镜的移动速度v和移动距离l。

wpc · 发表于 2010-3-30 22:29:17

老兄你在推荐设备吧?
能介绍一下你的工件是什么样的?在那里用的?

mixin0756 · 发表于 2010-3-31 22:24:33

这个零件测量的难点在于有一个平面面积太小。

money · 发表于 2010-4-3 13:29:21

我第一反应就是用百分表，既然你打不出来，这个精度也就是激光了。学习！

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