菲科半导体（张家港）有限公司（PHT Robot Inc.）：提供EFEM・Sorter等晶圆搬运设备。
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北方华创：作为国内的龙头设备厂之一，北方华创在半导体设备领域有广泛的业务拓展。
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中微公司：同样是国内半导体设备领域的领头羊，中微公司在刻蚀设备和沉积设备方面有较强的实力。! A4 \$ t+ t0 A! J% V, d
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盛美半导体设备（上海）股份有限公司：以半导体清洗设备和先进封装湿法设备为核心，近年开始进军沉积设备领域。
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威孚(苏州)技术有限公司：提供寻边器（Aligner），适用于直径最小2时至最大12吋的晶圆、玻璃等。$ P) K* v) Y* Q2 L5 a2 x5 c' r: N& p
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北京纳兹精密科技有限公司：提供气浮转台等产品。
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地心科技：提供气浮系统，包括气浮转台，气浮轴承直线台，以及XY双轴的平面气浮产品等。0 S6 }4 L9 Z& v+ U: |3 X% T
2 y* H ~/ a6 R& P- F7 u上银科技（中国）有限公司：提供晶圆装卸机Load Port HLP系列，可共享8吋与12吋产品加载载出。, B( N! f: g" D4 U
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上海大族富创得科技股份有限公司：提供EFEM设备，包括圆装载系统（Loadport）、晶圆运输机器人（Robot）和晶圆对准器（Aligner）三大部件。/ G% b0 D4 T8 Q; \# a
6 p/ u& Z0 {6 S& X$ u- D) z8 K苏州矽格纳科技有限公司：提供Wafer Aligner晶圆寻边器、Wafer Transfer晶圆转换器等产品。 |
发表于 2024-11-12 14:16:51
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