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真空腔体中活动轴的密封圈选择

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发表于 2023-11-10 11:40:14 | 显示全部楼层 |阅读模式
最近接手个项目,一个真空腔体密封,气缸连接活动轴,活动轴直线运动,需要保持真空密封性,密封圈采用哪种密封圈最好呢? 看之前其他工程师有用O型圈,有用泛塞圈的?  p0 L) t! l- _& W
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发表于 2023-11-10 12:29:43 | 显示全部楼层
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发表于 2023-11-10 12:58:04 | 显示全部楼层
O型圈,泛塞圈, 活塞密封圈 (V形的反向安装)  都可以使用,
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主要靠虑频率,速度,寿命$ \; Z3 }, e8 g. z. m

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发表于 2023-11-10 13:00:54 | 显示全部楼层
有油啊、水啊或者其他液体么,注意密封圈腐蚀
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发表于 2023-11-10 13:20:46 | 显示全部楼层
真空腔体用磁流体密封比较好,以前我们单晶炉、多晶炉高真空密封都用磁流体

点评

半导体行业真空设备确实是用磁流体密封  发表于 2023-11-10 15:40
有意思的磁流体密封  发表于 2023-11-10 14:13
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发表于 2023-11-10 13:30:13 | 显示全部楼层
0型圈安装在活动轴上,滑动部分镜面光洁度,用蓖麻油或是真空硅脂作为润滑,定期更换o型圈
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发表于 2023-11-10 15:31:18 | 显示全部楼层
用轴用密封圈吧,这个可以咨询厂家
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