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机械社区»论坛 › 专项技术 › 精密机械 › 纳米位移台研发
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楼主: 栖格玛

纳米位移台研发

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wrn
发表于 2022-12-15 15:13:07 | 显示全部楼层
栖格玛 发表于 2022-3-19 21:315 H% d5 ~3 j+ \' X1 d6 N
结构和你的类似，只是细节不一样搜索日本骏河可以看到

- x% n( U0 O: {; k+ H" C这个日本骏河也是MISUMI旗下的？

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栖格玛
是的  发表于 2022-12-16 21:15
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老菜鸟168
发表于 2022-12-15 21:51:07 | 显示全部楼层
之前搞过亚微米，几百纳米那种，压电陶瓷+气浮平台，楼主这个看来要更难一点。

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栖格玛
加个好友，一起交流下  发表于 2022-12-16 21:17
栖格玛
这个领域是压电的天下，另外直线电机也可以做到纳米级  发表于 2022-12-16 21:16
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xfxywzy
发表于 2023-3-2 15:17:12 | 显示全部楼层
我最近也在找类似的产品，应用场景跟你类似，50nm的分辨率，但我们希望能做到1nm的分辨率。目前市面上可以参考PI这家厂商的产品，我们选了一款分辨率0.1nm,行程15um的压电轴，同时现在直线电机现在也可以做到1nm的步进，我也是在学习和了解中，马上准备拿样品来测试。6 Q- {8 Q6 X: W3 u; G, i/ ]

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栖格玛
分辨率0.1nm的压电，国内也有几家能做，不过我们看中的是位移台的精度，非分辨率  发表于 2023-3-4 20:33
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xfxywzy
发表于 2023-3-8 18:04:26 | 显示全部楼层
xfxywzy 发表于 2023-3-2 15:17
: e) A, ^9 V! ~$ W. U# g我最近也在找类似的产品，应用场景跟你类似，50nm的分辨率，但我们希望能做到1nm的分辨率。目前市面上可以 ...
( s9 y7 ^6 N) _( _9 r8 T
位移台的精度，目前我知道有可以做到1nm步进的 行程100mm. 目前我们刚拿到一个样品在研究，品牌PI的。一套大概10W RMB。

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栖格玛
哈尔滨的芯明天，德国Pi，美国艾瑞特克，Newport都不错  发表于 2023-3-9 22:29
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xzx7869520
发表于 2023-11-2 19:59:09 | 显示全部楼层
这类我们都用压电台子了，光学检测行业

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xzx7869520
压电促动器，位移台，光学行业微调机构很多需要这类，这行比较头疼，很多高精物料都依赖进口，有时候产品定义完了，选不到标品部件，设计非标，又没人能做，或者愿意做  发表于 2023-11-7 18:40
栖格玛
同行  发表于 2023-11-7 18:03
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清风烈月
发表于 2024-12-11 17:13:35 | 显示全部楼层
磁驱平面电机4 j0 D2 l7 p  n$ p, m9 K- e
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