MEMS技术（微电子机械系统）
<P class=MsoNormal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-INDENT: 24pt; LINE-HEIGHT: 20pt; mso-char-indent-count: 2.0; mso-char-indent-size: 12.0pt; mso-line-height-rule: exactly"><SPAN style="FONT-SIZE: 12pt; FONT-FAMILY: 宋体; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'">微电子机械系统<SPAN lang=EN-US>(Micro Electro Mechanical System，简称MEMS)是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的新兴学科，它以微电子及机械加工技术为依托，范围涉及微电子学、机械学、力学、自动控制学、材料科学等多种工程技术和学科。<?xml:namespace prefix = o ns = "urn:schemas-microsoft-com:office:office" /><o:p></o:p></SPAN></SPAN></P><SPAN style="FONT-SIZE: 12pt; FONT-FAMILY: 宋体; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-font-kerning: 1.0pt; mso-bidi-font-family: 'Times New Roman'; mso-ansi-language: EN-US; mso-fareast-language: ZH-CN; mso-bidi-language: AR-SA"> 完整的<SPAN lang=EN-US>MEMS是由微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通讯接口和电源等部件组成的一体化的微型器件系统。其大小在毫米量级下，其目标是把信息的获取、处理和执行集成在一起，组成具有多功能的微型系统，完成大尺寸机电系统所不能完成的任务，也可以嵌入大尺寸系统中，从而大幅度地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。正如集成电路技术把我们带入信息时代一样，很多科学家都认为：MEMS会给人类社会带来另一次技术革命，它将对21世纪的科学技术、生产方式和人类生活质量产生深远影响，因而被认为是关系到国家科技发展、国防安全和经济繁荣的关键技术。</SPAN></SPAN> 还能再介绍的具体点吗？
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