微电子机械系统发展展望
微电子机械系统发展展望 （高技术）<BR><P> <BR>
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<P> 李志坚<BR>
<P> M E M S 一词由M i c r o E l e c t r o M <BR>e c h a n i c a l S y s t e m 的4 个字首组成，<BR>可译为微电子机械系统。M E M S 的起源可以追溯到6 <BR>0 年代，1 9 8 9 年后M E M S 一词就渐渐成为一个世<BR>界性的学术用语，M E M S 技术的研究开发也日益成为<BR>国际上的一个热点。与M E M S 一词同时流行的还有M <BR>i c r o M a c h i n e （微机械）和M i c r o <BR>S y s t e m （微系统）。它们都以微小（M i c r o <BR>）为特征，有的强调机械，有的强调系统，但当前人们<BR>常不加区别地与M E M S 通用。<BR>
<P> 一般地说，M E M S 具有以下非约束性的特征：<BR>
<P> （1 ）尺寸在毫米到微米范围之内，区别于一般宏<BR>（M a c r o ），即传统的、大于1 厘米尺度的“机械<BR>”，但并非进入物理上的微观层次；<BR>
<P> （2 ）基于（但不限于）硅微加工（M i c r o f <BR>a b r i c a t i o n ）技术制造；<BR>
<P> （3 ）与微电子芯片类同，可大批量、低成本生产<BR>，性能价格比传统“机械”制造技术大幅提高；<BR>
<P> （4 ）M E M S 中的“机械”不限于狭义的机械力<BR>学中的机械，它代表一切具有能量转化、传输等功能的<BR>效应，包括力、热、声、光、磁，乃至化学、生物能等<BR>；<BR>
<P> （5 ）M E M S 的目标是微“机械”与I C 集成的<BR>微系统———有智能的微系统。<BR>
<P> 用以上特征衡量，用微电子技术（但不限于此）制<BR>造的微小机构、器件、部件和系统等都属于M E M S 范<BR>围，微机械和微系统只是M E M S 发展的不同层次，有<BR>关的科学技术都可统称为M E M S 技术。<BR>
<P> 当前，信息技术已走上多媒体、网络化和智能化的<BR>道路，微电子信息处理已向系统级芯片集成发展。无论<BR>从微型化或性能价格比发展看，信息获取（传感）技术<BR>和信息执行技术，即所谓“外部设备”技术都已成为发<BR>展的瓶颈；它们与“主机”的接口（H I ）也成为阻碍<BR>处理速度的关键。M E M S 技术的目标是把信息获取、<BR>处理和执行一体化地集成在一起，使之成为真正的系统<BR>，因此该技术对信息技术的革命意义是不言而喻的。对<BR>传统的“机械学”来说，M E M S 技术不仅打开了“微<BR>尺寸”新领域的大门，也是真正实现机电一体化的开始<BR>。M E M S 被认为是微电子技术的又一次革命，对2 1 <BR>世纪的科学技术、生产方式和人类生活质量都会有深远<BR>的影响。<BR>
<P> （原载《科技导报》9 ／1 9 9 7 ，本文是一篇论<BR>文的引言部分）<BR>
<P> 《人民日报》（1 9 9 7 1 1 2 6 十版）</P></TD></TR></TBODY></TABLE></P>
Re: 微电子机械系统发展展望
M E M S 微电子机械系统 美国叫法 基于IC工艺发展起来的i c r o M a c h i n e微机械 日本猪叫法 基于精密加工发展起来的
S y s t e m 微系统 欧洲叫法 基于德国LIGA工艺发展起来的 MEMS在当前中国还不可能做高深的探究。。。。 我们原来公司的总工是这方面的双博士，在中国混不下去了，又回美国了！
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