叠起来，上图PE插片机 吸盘 这个加工也成问题 喂我袋盐 发表于 2024-1-2 13:39
晶圆机械手wafer robot
晶圆机械手我一直没搞明白结构，我看很薄的一个偏偏插进去就把可以把圆盘吸出来，要说是伯努利的那种吧，我看有的又没有做外径限制，高速跑的时候会不会导致位置变化啊 翰墨许 发表于 2024-1-2 15:08
哥哥 展开说说
图片是国内客户现场，用的是进口设备。
多层晶圆同时抓取，吸盘是特殊的侧面开口，管路4mm，层与层之间有间隙，可以直接插入后再靠近物料，然后真空吸附。
如果要求特殊，层与层间隙更小，建议用晶圆抓手。
如果空间足够，那自己照着图例做一个真空吸头就可以，还可以参考等间距可调机构，直接买现成模块搭建需要的产品。
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