青岛晨芯 发表于 2023-11-7 13:41:22

气浮导轨

国内国产气浮导轨2米行程客户要求±1um得平面度,3-5秒的偏摆,定位精度和重复性都是微米级别的,现场调试组装了好几天,累,没有太好的检测手段,只能靠干涉仪一步一步打表。

huangsiwen 发表于 2023-11-7 14:03:56

干涉仪只能测定位和重复吧,平面得用准直仪吧?这个不是太懂,干涉仪也可以间接测平面吗?

UCHIHASASUKE 发表于 2023-11-7 14:19:41

见过三丰的三坐标用气浮导轨,行程都不超过500

青岛晨芯 发表于 2023-11-7 14:45:10

huangsiwen 发表于 2023-11-7 14:03
干涉仪只能测定位和重复吧,平面得用准直仪吧?这个不是太懂,干涉仪也可以间接测平面吗?

可以打出平面度,德国的干涉仪好像好多指标都可以测了。

青岛晨芯 发表于 2023-11-7 14:45:47

UCHIHASASUKE 发表于 2023-11-7 14:19
见过三丰的三坐标用气浮导轨,行程都不超过500

我们给ACS做的三坐标底轴都是2米的行程。

尹志春 发表于 2023-11-8 08:16:28

2米1UM平面度,你家圈尺真好胜,
我想问一下,你是用圈尺还是和目测,这种随便搞,国内应该没有几家能对2米平面度1UM进行测量的工厂,所以验收一般都是目测,圈尺,
根本不用担心

青岛晨芯 发表于 2023-11-8 08:55:29

本帖最后由 丹瑾传动 于 2023-11-8 08:59 编辑

尹志春 发表于 2023-11-8 08:16
2米1UM平面度,你家圈尺真好胜,
我想问一下,你是用圈尺还是和目测,这种随便搞,国内应该没有几家能对2 ...

青岛晨芯 发表于 2023-11-8 08:56:17

丹瑾传动 发表于 2023-11-7 14:45
我们给ACS做的三坐标底轴都是2米的行程。

可以加一下V,发您精度报告给您看一下。

青岛晨芯 发表于 2023-11-8 09:01:15

丹瑾传动 发表于 2023-11-8 08:55


直线度是1u,平面度±1u.:lol   光电所测的,纳米级别他们也有方法测出来。

青岛晨芯 发表于 2023-11-9 08:54:19

丹瑾传动 发表于 2023-11-8 09:01
直线度是1u,平面度±1u.   光电所测的,纳米级别他们也有方法测出来。

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