原始人的锤子 发表于 2023-10-17 11:55:07

定位精度0.1μm以内的运动机构

1.想请教下有没有了解气浮导轨的？气浮导轨都是自行设计制作没有单卖的吗？
2.想学习下激光切割这类，有没有书籍推荐下？
3.抗振这块的设计，要怎么下手？现在我纯粹靠经验，心理没底。

duduxiaozi32 发表于 2023-10-17 12:08:44

气浮导轨有卖现成的，但是定位精度在0.1μm的看你要多长的导轨，一般国内很难达到，能到0.2μm/200mm就不错了。

hitiger 发表于 2023-10-17 12:13:13

|duduxiaozi32发表于 10-17 12:08气浮导轨有卖现成的，但是定位精度在0.1μm的看你要多长的导轨，一般国内很难达到，能到0.2μm/200mm就不错了。请问气浮导轨是什么？淘宝没收到。

duduxiaozi32 发表于 2023-10-17 12:15:19

hitiger 发表于 2023-10-17 12:13
请问气浮导轨是什么？淘宝没收到。

淘宝估计不卖这个，比较贵，用于超精密加工行业。静压导轨可以搜搜，别淘宝搜

东海fyh126 发表于 2023-10-17 13:34:27

吓尿了，，，0.几μm。。。。。

落泪小丑 发表于 2023-10-17 13:57:56

大佬从事什么工作啊？用到这样的精度。

ytzhanggj007 发表于 2023-10-17 14:08:26

就算这个导轨是磁悬浮的，丁点阻力也没有，这个精度也不是由导轨决定的，而是看驱动机构的精度。不知道你这什么用途，光刻机？:lol

Dreaming___snai 发表于 2023-10-17 14:12:40

直线电机+光栅尺可能会达到这个精度

jumbone 发表于 2023-10-17 14:16:37

人比人得死，货比货得扔啊，1μ的精度我都不会搞，你们都开始搞0.1μ了；

养猪东篱下 发表于 2023-10-17 15:06:34

0.1微米，用什么设备检测？
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